【概要描述】　　半導體器件的生産環境對于污染物的存在極為敏感，即便是存在很少的氣态分子污染物或顆粒污染物，也會降低産品的質量，因此半導體器件制造領域潔淨度要求遠遠高于其他工業。



　　在芯片、半導體器件生産全過程中，制程環境污染控制極為重要。核心制程的空氣潔淨度需要達到ISO Class 1，氣态分子污染物(AMC)濃度需要低于百億分之一，不合格的制程環境會導緻産品良率大幅度降低。

　　普通的空氣中含有大量微粒、浮塵等顆粒污染物及二氧化硫、氮氧化物、氨氣等氣态污染物，隻有經過處理後才能進入潔淨室。因生産半導體等微電子器件的潔淨房需全天保持标準潔淨度，所以潔淨空調系統(包括排風系統)、為其配套的冷熱源及相應的輸送系統必須24h運行，與其他常規空調系統極其不同。



　　相關文獻表明，我國建築能耗占社會總能耗的比例約為21%-24%，暖通空調設備作為公共建築領域廣泛使用的重要設備，其能耗占建築總耗電量的50%-60%。在暖通空調設備的能耗中，風機能耗占很大比例，大概占空調機組能耗的50%。高等級半導體潔淨室作為耗能大戶，其換氣次數高達200-600次/小時，且氣流需經過多級過濾，其能耗更是高達一般空調系統的5-10倍。

　　風機作為動能來源，提供的大部分能量皆被各部件阻力總和所消耗掉，且空氣過濾器的阻力約占風機全壓頭的50%，由此可以看出，降低空調過濾器運行能耗将對建築運行能耗降低、碳排放降低産生重要意義。同時，從提高能源效率、降低能耗的角度來看，在不影響過濾要求的情況下優化空氣過濾器性能是必要選擇。



　　在空調過濾器的整個LCC分析中，連續運行空調過濾器的投資成本僅占5%，維護、更換成本占8%，能耗成本占87%，其中能耗成本約60%被風機消耗。



空調處理單元生命周期成本

　　歐洲通風協會根據實驗室的測試結果估算過濾器的能耗，基于實驗室實驗數據，将效率、年能耗作為能效分級的依據，有别于通風設備或空調系統中的應用情況，與實際應用具有相關性，但具體應用中的實際能耗與參照Eurovent4/21-2019一般通風過濾器能耗估算中的理論能耗明顯不同。



　　綜上所述，過濾器能耗由平均阻力直接決定，與初始阻力、容塵量相關。降低初始阻力，提高容塵量、降低容塵過程中阻力的增加幅度是降低能耗的有效途徑，既能為客戶降低能源成本又能為環保貢獻力量。



　　某化纖袋式過濾器與美埃M-HPACK高容塵袋式過濾器為實驗模型對比：



　　兩種過濾器對比結果表明：采用M-HPACK高容塵袋式過濾器，每片過濾器每天可節省2度電，一年運行360天，可節省720度電，這僅僅是一片中效袋式過濾器所節省的，對于整個空調機組而言，節省了一筆巨大的費用。而按ISO 16890标準進行測試，達到終阻力300Pa時容塵量為某化纖袋式過濾器的1.5倍多。意味着M-HPACK高容塵袋式過濾器使用時間更長，更換次數降低，安裝、維護、更換費用也相應降低。

　　二十餘年來，美埃專注于納米級芯片工藝制程超淨環境，技術及高質量産品的研發與生産，以專業解決方案廣泛運用于半導體、電子、平闆顯示、光伏等各行業，滿足客戶各等級淨化要求。

• 分類：新聞資訊
• 作者：
• 來源：
• 發布時間：2022-04-19 09:00
• 訪問量：