半導體尖端工藝的極端制程環境要求
公司核心産品風機過濾單元及空氣過濾器的典型應用場景為潔淨室，随着半導體芯片關鍵線寬尺寸縮減，制程工藝的不斷改進叠代，對空氣過濾技術不斷提出最嚴苛的要求。
半導體線寬
5納米制程要求潔淨度ISO Class 1
“酸性”氣體引起的電路腐蝕問題
“堿性”氣體引起的T-topping問題
美埃風機過濾單元大規模應用，
見證中國半導體産業成長
技術特點：低噪音、高效率、低能耗運行、群控系統、使用壽命長。
氣态分子污染物控制技術，助力半導體良率提升
随着半導體芯片關鍵線寬尺寸縮減，制程工藝的不斷改進叠代，氣态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contamination)的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。從2005年開始，美埃氣态過濾解決方案一直緻力服務于中國大陸的晶圓廠。除為客戶提供化學濾網産品外，在南京研發中心設有化學實驗室，從原材料到成品，對每一階段進行檢驗測試，并在産品交付客戶現場後，取樣驗證安裝後的濃度達到應用要求，定期回訪測試。
闆式離子交換纖維
化學過濾器Puro-F
闆式改性活性碳
化學過濾器Puro-P
箱式活性炭化學
過濾器Puro-C
單法蘭V型離子交換纖維
化學過濾器Puro-V
炭筒
化學過濾器CT
無法蘭離子交換樹脂
化學過濾器Puro-V
美埃與中國半導體行業共同成長
部分客戶案例
中芯國際(上海)14納米制程公布良率已達業界量産水準
重慶惠科8.6代超高清顯示器件線公布良率98.5%
上海微電子光刻設備潔淨度
ISO Class 1
華星光電G11項目榮獲LEED鉑金級認證
美埃是首個京東方選用替代國外品牌的供應商
華虹自研突破28納米劍指14納米
大規模高速群控系統
監控＞10萬台FFU 丨 遠端故障反饋＜8秒 丨 兼容交直流風機 丨
兼容多種通訊協議 丨 自動組态技術 丨 無線控制技術 丨
優化矢量脈寬調制低諧波技術
CFD模拟
