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技術篇 | 半導體行業潔淨空調系統空氣過濾器節能優化方案

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  半導體器件的生産環境對于污染物的存在極為敏感,即便是存在很少的氣态分子污染物或顆粒污染物,也會降低産品的質量,因此半導體器件制造領域潔淨度要求遠遠高于其他工業。

  在芯片、半導體器件生産全過程中,制程環境污染控制極為重要。核心制程的空氣潔淨度需要達到ISO Class 1,氣态分子污染物(AMC)濃度需要低于百億分之一,不合格的制程環境會導緻産品良率大幅度降低。

  普通的空氣中含有大量微粒、浮塵等顆粒污染物及二氧化硫、氮氧化物、氨氣等氣态污染物,隻有經過處理後才能進入潔淨室。因生産半導體等微電子器件的潔淨房需全天保持标準潔淨度,所以潔淨空調系統(包括排風系統)、為其配套的冷熱源及相應的輸送系統必須24h運行,與其他常規空調系統極其不同。

  相關文獻表明,我國建築能耗占社會總能耗的比例約為21%-24%,暖通空調設備作為公共建築領域廣泛使用的重要設備,其能耗占建築總耗電量的50%-60%。在暖通空調設備的能耗中,風機能耗占很大比例,大概占空調機組能耗的50%。高等級半導體潔淨室作為耗能大戶,其換氣次數高達200-600次/小時,且氣流需經過多級過濾,其能耗更是高達一般空調系統的5-10倍。

  風機作為動能來源,提供的大部分能量皆被各部件阻力總和所消耗掉,且空氣過濾器的阻力約占風機全壓頭的50%,由此可以看出,降低空調過濾器運行能耗将對建築運行能耗降低、碳排放降低産生重要意義。同時,從提高能源效率、降低能耗的角度來看,在不影響過濾要求的情況下優化空氣過濾器性能是必要選擇。

  在空調過濾器的整個LCC分析中,連續運行空調過濾器的投資成本僅占5%,維護、更換成本占8%,能耗成本占87%,其中能耗成本約60%被風機消耗。

空調處理單元生命周期成本

  歐洲通風協會根據實驗室的測試結果估算過濾器的能耗,基于實驗室實驗數據,将效率、年能耗作為能效分級的依據,有别于通風設備或空調系統中的應用情況,與實際應用具有相關性,但具體應用中的實際能耗與參照Eurovent4/21-2019一般通風過濾器能耗估算中的理論能耗明顯不同。

  綜上所述,過濾器能耗由平均阻力直接決定,與初始阻力、容塵量相關。降低初始阻力,提高容塵量、降低容塵過程中阻力的增加幅度是降低能耗的有效途徑,既能為客戶降低能源成本又能為環保貢獻力量。

  某化纖袋式過濾器與美埃M-HPACK高容塵袋式過濾器為實驗模型對比:

  兩種過濾器對比結果表明:采用M-HPACK高容塵袋式過濾器,每片過濾器每天可節省2度電,一年運行360天,可節省720度電,這僅僅是一片中效袋式過濾器所節省的,對于整個空調機組而言,節省了一筆巨大的費用。而按ISO 16890标準進行測試,達到終阻力300Pa時容塵量為某化纖袋式過濾器的1.5倍多。意味着M-HPACK高容塵袋式過濾器使用時間更長,更換次數降低,安裝、維護、更換費用也相應降低。

  二十餘年來,美埃專注于納米級芯片工藝制程超淨環境,技術及高質量産品的研發與生産,以專業解決方案廣泛運用于半導體、電子、平闆顯示、光伏等各行業,滿足客戶各等級淨化要求。

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